■制造商名称：KEYENCE

■设备型号：VHX-5000

■主要特点：日本基恩士3D形貌测量系统，具有图像快速处理、分析和测量功能，可提供高衬度、高分辨率、大景深、无失真的二维和三维图像。可实现多角度观测，用于材料外轮廓、纹理、表面图层、微观高度差、距离、角度、体积等参数测量与分析。

■技术参数：

（1）放大倍数：光学20-2000X，电动变焦。

（2）物理景深：最大可达到34mm。

（3）载物台：电动载物台，X/Y轴行程40mm，Z轴测量范围35mm。

（4）观测角度:调整范围为-90°~+60°。

（5）录像系统：录像频率15帧/秒、30帧/秒、50帧/秒可切换。

（6）图像拼接：自动进行2D和3D图像拼接，可复现三维形貌，景深叠加。

■应用领域：用于焊接接头形貌、磁控溅射表面形貌、金属材料断口、微纳加工制造、MEMS研究等。

■服务简介：材料外轮廓、纹理、表面图层、微观高度差、距离、角度、体积等参数的测量与分析。

联系电话：0532-55590818；0532-55590877