■制造商名称：北京时代之峰科技有限公司

■设备型号：CoxemSPT-20

■主要特点：该系统采用微处理器进行全自动控制；LED液晶屏显示，设置简单；快速抽真空，小于3分钟；预设多种溅射参数，一键操作；具有稳定的离子流，可产生均匀的颗粒尺寸和均匀的镀膜厚度。

■技术参数

（1）旋转泵：2级直连式高速真空泵24L/min（60Hz）AC220V100W。

（2）旋片试机械泵：100L/min。

（3）真空控制：自动，真空度液晶屏显示，溅射完毕自动卸载真空。

（4）最大电离电压：3KV。

（5）离子电流：1-9mA。

（6）靶材:铂金靶材Pt/Ø50*0.1T（厚度）。

（7）样品室：内径100mm*100高。

（8）样品台：可以装载12个SEM样品座，高度可调范围为50mm。

■应用领域：主要用于对非导电样品进行表面镀膜处理，以适应扫描电镜分析要求，避免电荷效应的产生。

■服务简介：预设多种靶材的溅射参数，可用于扫描电镜制样，也可用于其他小型镀膜实验。

联系电话：0532-55590818；0532-55590877